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日立 FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪的特长

发布时间:2018-01-08 17:31:35  浏览次数:

1.自动对焦功能 自动接近功能
   在样品台上放置各种高度的样品时,只要高低差在80mm范围内,即可在3秒内自动对焦被测样品。由此进一步提高定位操作的便捷性。

    ●自动对焦功能    简便的摄像头对焦

    ●自动接近功能    最适合位置的对焦

2.通过新 薄膜FP法提高测量精度

   实现微小光束的高灵敏度,通过微小准直器提高了膜厚测量精度。镀层测量时间比本公司原有机型缩短了1/2。另外,针对检测器的特性开发了新的EP法,可进行无标样测量。测量结果可一键生成报告书,简单方便。

    ●新 薄膜EP法    

      减少检量线制作的繁琐程度、实现了设定测量条件的简易化

      无标样测量方法可进行最多5层的膜厚测量

    ●自动对焦功能和距离修正功能    

      凹凸落差的样品可通过薄膜EP法做成的相同测定条件进行测量

    ●灵敏度提高

      镀层测量时间比本公司原有机型缩短了1/2

    ●生成报告功能

      一键生成测量报告书

3.广域样品观察

对测量平台(250mm*200mm)上放置的样品拍摄一张静态画面后,可在获取的广域观察图像上指定狭域的观察位置。由此,可大幅减少多数测量点位置的选取时间,以及在图像上难以寻找的特定点位置的选定时间。

    ●广域图像观察    轻松定位


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